Business introduction
BUSINESS 반도체 장비
Canister 및 Flask 내부의 오염물질 및 잔량 제거 자동화 설비
Canister 및 Flask 내부의 오염물질 및 잔량 제거
Canister Size User Spec.
Robot Sy's 2set (Robot Safety Interlock)
Front Door Slide Open Type
Chemical Supply CCSS or LCSS
Control Method PLC Control
첨단 화학 세척 공정을 통해 캔스터 내부의 잔여물을 효과적으로 제거합니다.
정밀 초음파 세척을 통해 캔스터 내부의 접착 잔여물을 제거합니다.
최종 린스 및 질소(N2) 건조 과정을 통해 캔스터 내부를 완벽히 건조합니다.
사용자 친화적인 유지 보수와 운영 효율성을 고려하여 설계되었습니다.
수작업과 비교하여 화학 물질에 대한 직접 노출을 최소화하여 안전성을 강화합니다.
자동화된 세척 공정을 통해 일관되고 높은 품질의 결과를 제공합니다.
고객 요구 사항에 맞춘 맞춤형 세정 프로세스를 제공합니다.
운영 효율성과 생산 용량을 향상시킵니다.